神田 忠 | 住友シチックス(株)シリコン技術管理センター

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概要

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• 同名の論文著者
• 住友シチックス(株)シリコン技術管理センターの論文著者

関連著者

• 小野 敏昭

  住友金属工業(株)シチックス事業本部研究開発センター

• 奥井 正彦

  住友金属工業

• 田中 忠美

  住友シチックス(株)シリコン研究開発センター

• 神田 忠

  住友シチックス(株)シリコン技術管理センター

• 小野 敏昭

  住友シチックス(株)シリコン研究開発センター

• 小野 敏昭

  住友金属工業(株)シチックス事業本部 シリコン製造所研究開発センター

• 奥井 正彦

  住友金属工業(株)未来技術研究所

著作論文

• 低速育成シリコン結晶の成長時導入欠陥の形成機構

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