ECR放電を用いたCl_2プラズマによるSiエッチング : プラズマ診断とエッチング機構
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概要
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- 1999-06-11
著者
-
大森 達夫
三菱電機
-
大森 達夫
三菱電機株式会社先端技術総合研究所
-
西川 和康
三菱電機株式会社先端技術総合研究所
-
西川 和康
三菱電機 (株) 先端技術総合研究所
-
西川 和康
三菱電機 (株) 半導体基礎研究所
-
大寺 廣樹
三菱電機
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