大寺 廣樹 | 三菱電機

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• 大森 達夫

  三菱電機株式会社先端技術総合研究所

• 西川 和康

  三菱電機株式会社先端技術総合研究所

• 大寺 廣樹

  三菱電機

• 大森 達夫

  三菱電機

• 大森 達夫

  三菱電機(株)先端技術総合研究所プロセス基礎技術部

• 新谷 賢治

  三菱電機株式会社 先端技術総合研究所

• 西川 和康

  三菱電機(株)先端技術総合研究所

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• 友久 伸吾

  三菱電機(株)

• 滝 正和

  三菱電機(株)

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• 大寺 廣樹

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  三菱電機

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著作論文

• ECR放電を用いたCl_2プラズマによるSiエッチング : プラズマ診断とエッチング機構
• ガスパフプラズマを用いたゲート電極エッチング時の薄膜酸化膜へのダメージ評価

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