新谷 賢治 | 三菱電機株式会社 先端技術総合研究所
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概要
関連著者
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新谷 賢治
三菱電機株式会社 先端技術総合研究所
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滝 正和
三菱電機
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津田 睦
三菱電機 先端技総研
著作論文
- C-2-21 0.13μm CMOS低電圧動作ギルバートセルミクサの歪み特性(C-2.マイクロ波A(マイクロ波・ミリ波能動デバイス),一般講演)
- ガスパフプラズマを用いたゲート電極エッチング時の薄膜酸化膜へのダメージ評価
- 平行平板RFプラズマのインピーダンスモニタリング
- インピーダンス計測によるプラズマプロセス装置の高精度モニタリング