津田 睦 | 三菱電機(株)先端技術総合研究所

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関連著者

• 津田 睦

  三菱電機(株)先端技術総合研究所

• 津田 睦

  三菱電機 先端技総研

• 津田 睦

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• 斧 高一

  三菱電機

• 炭谷 博昭

  三菱電機

• 斧 高一

  三菱電機 先端技術総合研究所

• 滝 正和

  三菱電機(株)

• 花崎 稔

  三菱電機株式会社

• 米村 俊雄

  三菱電機会社北伊丹製作所

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  三菱電機

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  三菱電機

• 滝 正和

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• 米村 俊雄

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• 斧 高一

  三菱電機(株)先端技術総合研究所プロセス基礎技術部

• 西川 和康

  三菱電機株式会社先端技術総合研究所

• 新谷 賢治

  三菱電機株式会社 先端技術総合研究所

• 西川 和康

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• 新谷 賢治

  三菱電機

• 番條 敏信

  三菱電機(株)半導体基板技術統括部

• 仲村 恵右

  三菱電機

• 番條 敏信

  三菱電機

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著作論文

• ECRプラズマによるPoly-Siエッチングにおける反応生成物の診断と形状制御
• 平行平板RFプラズマのインピーダンスモニタリング
• 超高密度プラズマによるSiCの高速エッチング
• マルチカスプ磁場閉じ込め表面波プラズマ源
• マルチカスプ磁場閉じ込め表面波プラズマ源

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