炭谷 博昭 | 三菱電機
スポンサーリンク
概要
関連著者
-
炭谷 博昭
三菱電機
-
津田 睦
三菱電機
-
服部 亮
三菱電機
-
渡辺 友勝
三菱電機
-
大森 達夫
三菱電機
-
三谷 武志
TRC
-
糸賀 賢二
三菱電機
-
綾 淳
三菱電機(株)中央研究所
-
渡辺 友勝
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
滝 正和
三菱電機(株)
-
津田 睦
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
仲村 恵右
三菱電機
-
滝 正和
三菱電機
-
津田 睦
三菱電機 先端技総研
-
糸賀 賢二
三菱電機(株)半導体基礎研究所
-
渡辺 寛
三菱電機株式会社先端技術総合研究所
-
綾 淳
三菱電機株式会社 先端技術総合研究所
-
新谷 賢治
三菱電機株式会社 先端技術総合研究所
-
新谷 賢治
三菱電機
著作論文
- SiC結晶のイオン注入活性化アニール過程における結晶回復と点欠陥の再配置
- SiC結晶のイオン注入活性化アニール過程における結晶回復と点欠陥の再配置(パワーエレクトロニクス及び半導体電力変換一般)
- 第二世代X線リソグラフィ
- 平行平板RFプラズマのインピーダンスモニタリング
- 超高密度プラズマによるSiCの高速エッチング
- 高速SiCエッチング技術 (特集 マイクロ・ナノテクノロジー適用例とその評価・解析技術)
- 超微細ナノリソグラフィ (特集 マイクロ・ナノテクノロジー適用例とその評価・解析技術)
- X線リソグラフィーの高解像力化への取り組み
- 線形電子加速器を用いた医療用断層像撮影装置
- 合成開口法を用いた物体断面超音波映像化方法