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三谷 武志 | TRC
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服部 亮
三菱電機
渡辺 友勝
三菱電機
炭谷 博昭
三菱電機
大森 達夫
三菱電機
三谷 武志
TRC
渡辺 友勝
三菱電機(株)先端技術総合研究所
著作論文
SiC結晶のイオン注入活性化アニール過程における結晶回復と点欠陥の再配置
SiC結晶のイオン注入活性化アニール過程における結晶回復と点欠陥の再配置(パワーエレクトロニクス及び半導体電力変換一般)
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