ガスパフプラズマを用いたゲート電極エッチング時の薄膜酸化膜へのダメージ評価
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概要
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- 1999-06-10
著者
-
大森 達夫
三菱電機(株)先端技術総合研究所プロセス基礎技術部
-
大森 達夫
三菱電機株式会社先端技術総合研究所
-
西川 和康
三菱電機株式会社先端技術総合研究所
-
新谷 賢治
三菱電機株式会社 先端技術総合研究所
-
西川 和康
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
大寺 廣樹
三菱電機
-
友久 伸吾
三菱電機(株)
-
滝 正和
三菱電機(株)
-
新谷 賢治
三菱電機(株)
-
大寺 廣樹
三菱電機(株)
-
滝 正和
三菱電機
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