キャパシターに用いる白金および高誘電率材料のエッチング技術

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概要

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• 応用物理学会の論文
• 1994-11-10

著者

• 芝野 照夫

  三菱電機 (株) 半導体基礎研究所

• 西川 和康

  三菱電機 (株) 先端技術総合研究所

• 西川 和康

  三菱電機 (株) 半導体基礎研究所

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