イオン照射によりSi基板に導入された格子歪みの深さ方向分布の解析

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概要

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• 日本放射光学会の論文
• 2006-05-31

著者

• 秋本 晃一

  名大院工

• 秋本 晃一

  名工大

• 秋本 晃一

  名古屋大学・院工・量子工学

• 榎本 貴志

  豊田工業高専

• 榎本 貴志

  国立豊田工業高等専門学校

• SATYAM Parlapalli

  インド国立物理学研究所

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