利用実験:X線波動場による薄膜成長制御

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概要

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• 日本放射光学会の論文
• 1997-04-20

著者

• 秋本 晃一

  名古屋大学工学部

• 谷川 明男

  日本電気(株)マイクロエレ研

• 秋本 晃一

  名古屋大学大学院工学研究科量子工学専攻

• 谷川 明男

  Nec

• 秋本 晃一

  名古屋大学・院工・量子工学

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