酸窒化ゲート酸化膜の窒素原子分布と信頼性
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概要
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- 1995-05-25
著者
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荒川 富行
沖電気工業株式会社コンポーネント事業部
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北 明夫
沖電気工業
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林 孝尚
沖電気工業 半導体事業グループ 研究本部
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林 孝尚
沖電気工業株式会社超lsi研究開発センタ
-
松本 良一
プロセス技術センタ
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北 明夫
沖電気工業株式会社超lsi研究開発センタ
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荒川 富行
超lsi研究開発センタ
-
河津 佳幸
沖電気工業(株)
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松本 良一
沖電気工業(株)
-
河津 佳幸
沖電気工業(株)プロセス技術センター
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