熱間等方圧加圧による石英系光導波路のコア間狭ギャップ埋め込み性改善
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-03-07
著者
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烏野 ゆたか
沖電気工業株式会社 研究開発本部 マイクロシステム技術研究所 マイクロコンポーネント・プロジェクト
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糟谷 行男
沖電気工業
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烏野 ゆたか
沖電気工業
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烏野 ゆたか
沖電気工業株式会社コンポーネント事業部
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荒川 富行
沖電気工業株式会社コンポーネント事業部
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高橋 博実
沖電気工業株式会社コンポーネント事業部
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荒川 富行
超lsi研究開発センタ
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糟谷 行男
沖電気工業株式会社コンポーネント事業部
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