次世代強誘電体メモリ集積化技術 (デバイス特集)
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概要
著者
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林 孝尚
沖電気工業 半導体事業グループ 研究本部
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五十嵐 泰史
沖電気工業(株)シリコンソリューションカンパニー研究本部
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猪股 大介
沖電気工業(株)シリコンソリューションカンパニー研究本部
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林 孝尚
沖電気工業株式会社超lsi研究開発センタ
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