ドライエッチング法によるサブクオ-タミクロン銅配線の形成 (先端技術特集)

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概要

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• 沖電気工業沖時報編集委員会の論文

著者

• 伊東 敏雄

  沖電気工業(株)シリコンソリューションカンパニー研究本部

• 五十嵐 泰史

  沖電気工業(株)シリコンソリューションカンパニー研究本部

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