エキシマレーザ加工により高分子光導波路に形成された45度マイクロミラー
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
光電気混載板の任意の光導波路コアから光入出力を可能とするマイクロミラーの形成方法を開発した。ポリイミド光導波路に対して斜めにKrFエキシマレーザを照射させることにより,45度マイクロミラーが±1度の精度で形成できた。加工したマイクロミラーは平面ミラーではなく,コアの幅方向に対して凹面ミラーとなっていた。これは,集光効果があるために,90度光路変換を伴う光結合において,非常に有利であることがわかった。得られたマイクロミラーの反射損失は約0.6dBであり,実用レベルであることが示された。
- 社団法人エレクトロニクス実装学会の論文
- 2004-11-01
著者
-
塩田 剛史
三井化学株式会社
-
塩田 剛史
三井化学株式会社機能材料研究所
-
塩田 剛史
三井化学株式会社機能材料研究所回路材料グループ
-
鈴木 健司
三井化学株式会社機能材料研究所
-
鈴木 健司
三井化学株式会社
-
鈴木 健司
三井化学株式会社 機能材料研究所
関連論文
- 成長するロボットの研究-身体変化と歩行パターン-
- 低侵襲脳外科手術における術野確保-様々な形状制御が可能なマスタの開発-
- 群知能ロボットの研究-飛行船と地上移動ロボットによる3D群行動-
- 歯科患者ロボット-全身動作と実習の自動化-
- 高分子光導波路を用いた光配線板の標準化動向(光回路実装技術の標準化動向)
- 光配線板の最新動向(光回路実装技術基礎講座「光配線と電気配線の融合化技術」第3回)
- 光配線板の標準化動向(ここまできた光回路実装の標準化-JPCAにおける標準化の最新動向)
- テーパ型自己形成光導波路を用いた45度ミラー貫通接続法
- C-3-54 高屈曲ポリイミド光導波路フィルム(C-3. 光エレクトロニクス(ポリマー導波路), エレクトロニクス1)
- C-3-31 テーパ型自己形成光導波路の接続特性(C-3. 光エレクトロニクス(導波路設計・作製), エレクトロニクス1)
- 4. 光電気混載基板の開発動向(進化するプリント基板技術)
- グリーンレーザ光によるGI-MMFとVCSEL間の"自己形成接続"
- C-3-65 45度光ファイバとVCSELの自己形成接続(光モジュール)(C-3.光エレクトロニクス)
- C-3-1 色素混合樹脂を用いたコアークラッド作製法
- C-3-62 自己形成光導波路による光素子と光線路の接続技術
- 厚み方向にテーパ構造を持つ光導波路による高トレランスと高屈曲性の実現(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
- 厚み方向にテーパ構造を持つ光導波路による高トレランスと高屈曲性の実現(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
- 厚み方向にテーパ構造を持つ光導波路による高トレランスと高屈曲性の実現(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
- 厚み方向にテーパ構造を持つ光導波路による高トレランスと高屈曲性の実現(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
- エキシマレーザ加工により高分子光導波路に形成された45度マイクロミラー
- 光導波路を用いたボードレベル光インタコネクション : 光路変換用マイクロミラーの開発(光・電子デバイス実装、及びデバイス技術,一般)
- 光導波路を用いたボードレベル光インタコネクション : 光路変換用マイクロミラーの開発(光・電子デバイス実装、及びデバイス技術,一般)
- 光導波路を用いたボードレベル光インタコネクション : 光路変換用マイクロミラーの開発(光・電子デバイス実装、及びデバイス技術,一般)
- 光導波路を用いたボードレベル光インタコネクション : 光路変換用マイクロミラーの開発(光・電子デバイス実装、及びデバイス技術,一般)
- フッ素化ポリイミド光導波路の低損失化(ポリマー光回路・一般)
- 光プリント配線板用高分子光導波路の開発動向(光回路実装技術の動向)
- SC-14-4 光導波路を用いたボードレベル光インターコネクション(SC-14.光デバイス実装技術の展望)
- C-3-36 エキシマレーザーを用いた45°マイクロミラーの作製と評価(ポリマーデバイス)(C-3.光エレクトロニクス)
- 光導波路フィルムを用いたボード内光インタコネクション
- 酸化シリコン薄膜をはく離層に用いた転写法によるフッ素化ポリイミド光導波路フィルム作製とその応用
- C-3-128 MZI 型ポリイミド光スイッチにおけるドリフト現象の解明
- 光導波路フィルム技術と光電気配線板への応用(光配線板技術)(光回路実装技術の現状と今後 : ブロードバンド時代を迎えて)
- C-3-64 剥離層法によるポリイミド光導波路の作製
- 成長するロボットの研究-身体変化と歩行パターン-
- 簡易アライメントを目指したテーパ型フレキシブル光導波路の開発
- (2)表面張力を利用した水面移動ロボットの研究(論文,日本機械学会賞〔2010年度(平成22年度)審査経過報告〕)
- 53.二期的摘出術で原発巣を摘出した縦隔原発滑膜肉腫の1例(一般演題,第45回日本小児外科学会関東甲信越地方会)
- MNM-4B-6 MEMS技術を利用した気流センサの研究 : 昆虫型ロボットヘの搭載(セッション 4B マイクロ・ナノ技術によるロボティクス・メカトロニクスの新展開)
- MNM-P5-6 エレクトロウェッティングを利用した液滴の3次元輸送に関する研究(P5 マイクロ・ナノ技術によるロボティクス・メカトロニクスの新展開)
- 成長するロボットの研究-歩行アルゴリズムの作成-
- 歯科患者ロボット-安静時呼気機能の開発-
- 群知能ロボットの研究-局所相互作用による群行動-
- 11. 胸腔鏡補助下に右中下葉切除を施行した小児気管支拡張症の1例(一般演題,第46回日本小児外科学会関東甲信越地方会)
- 光インターコネクション技術の現状と展望
- 表面張力を利用した機能性表面の創成と機械設計 (特集 マイクロ・ナノ工学とトライボロジー)
- 4-1 胎児診断された嚢胞性肺疾患の治療経験 : とくに無症候例に対する完全胸腔鏡下手術(要望演題2「開胸手技」,第22回日本小児呼吸器外科研究会)
- 低侵襲脳外科手術における術野確保 : 操作性を考慮したマスタ系の製作
- 成長するロボットの研究 : 年齢別寸法・体重の検証と歩行シミュレーション
- 表面張力を利用した機能性表面の創成と機械設計
- 症例に学ぶ 肺動脈血栓塞栓症として紹介された肺動脈肉腫の1例
- 日本・タイ・シンガポールの医学教育に関する研修報告 : 熱帯医学研究会夏期研修に参加して
- PS-061-8 食道癌術後再発形式と肝・肺転移に対する切除についての検討(PS-061 食道 悪性-2,第112回日本外科学会定期学術集会)
- 低侵襲脳外科手術における術野確保 -操作性と安全性を考慮したマスタ系の製作-
- 10-37. 小児完全胸腔鏡下肺葉切除術における治療戦略 : 左上葉切除術のピットフォール(10.手術1,第23回日本小児呼吸器外科研究会)
- 5-19. 膿胸に対する胸腔鏡下胸腔内掻爬,ドレナージ術の治療経験(5. 合同セッション:膿胸,第23回日本小児呼吸器外科研究会)
- PS-158-5 透析患者に対する呼吸器外科手術における術後合併症(肺合併症,ポスターセッション,第112回日本外科学会定期学術集会)
- SF-016-5 乳幼児における胸腔鏡下肺葉切除術 : 安全性を追求するための当科の取り組み(SF-016 サージカルフォーラム(16)小児 臨床,第112回日本外科学会定期学術集会)
- WS-3-KL 小型肺癌に対する標準手術の模索(WS-3 ワークショップ(3)小型肺癌に対する治療戦略)
- 群知能ロボットの研究 : 全方向移動機能による群制御
- 歯科患者ロボット : 患者の状態異常時における手の再現
- 歯科治療用自動ライトの研究 : OpenCVを利用した多自由度自動ライトの開発