光導波路を用いたボードレベル光インタコネクション : 光路変換用マイクロミラーの開発(光・電子デバイス実装、及びデバイス技術,一般)
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概要
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光導波路を用いたボードレベル光インタコネクションの実用化への課題は、90度光路変換を含んだ簡便な光結合技術の開発である。基板内の任意の箇所からの光の取り出しを可能にするマイクロミラーの開発が必要とされている。そこで我々は、任意の光導波路コアから光入出力を可能とするマイクロミラーの形成方法を開発した。フツ素化ポリイミド光導波路に対して斜めにKrFエキシマレーザを照射させることにより、45度マイクロミラーが±1度の精度で形成できた。加工したマイクロミラーは平面ミラーではなく、コアの幅方向に対して凹面ミラー形状となっていた。これは、集光効果が期待され、90度光路変換を伴う光結合において、非常に有利と考えられる。得られたマイクロミラーの反射損失は約0.6dBであり、実用レベルであることが示された。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-08-19
著者
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