含フッ素中性溶液を用いた塗布熱分解法によるY123膜の作製
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概要
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- 2001-05-16
著者
-
土屋 哲男
産総研
-
真部 高明
産総研
-
山口 巌
産総研
-
熊谷 俊弥
産総研
-
中村 進
産総研
-
水田 進
産総研
-
水田 進
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
-
山口 巌
(独)産業技術総合研究所
-
熊谷 俊弥
産業技術総合研
-
真部 高明
産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門
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