開発事例 塗布熱分解法で世界最大級の超電導薄膜を作製 (特集 最新 薄膜形成技術と用途展開)

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概要

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• 日刊工業新聞社の論文

著者

• 山口 巌

  産総研

• 相馬 貢

  産総研

• 山口 巌

  (独)産業技術総合研究所

• 真部 高明

  産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門

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