レーザー化学プロセシングによる機能膜の作製-レーザーCVD法及び塗布光分解法-
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2001-01-01
著者
-
土屋 哲男
産総研
-
水田 進
物質工学工業技術研究所
-
今井 庸二
物質工学工業技術研究所
-
土屋 哲男
産業技術総合研究所
-
今井 庸二
(独)産業技術総合研究所
-
渡邊 昭雄
(独)産業技術総合研究所
-
水田 進
(独)産業技術総合研究所
-
土屋 哲男
物質工学工業技術研究所
-
渡邊 明雄
物質工学工業技術研究所
-
今井 庸二
産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門
関連論文
- 26aRK-7 マイクロパターニングしたペロブスカイトMn酸化物薄膜の物性(マンガン酸化物,領域8,強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など)
- レーザ照射を併用したMOD法による高J_c-YBCO膜の作製 : 1. 高速成膜法の開発
- 含フッ素中性溶液を用いた塗布熱分解法によるY123膜の作製
- 塗布熱分解法によるエピタキシャル酸化物膜の作製
- 塗布熱分解法によるMgO(100)基板上のエピタキシャルPb(Zr,Ti)O_3薄膜の作製
- チタン又は酸化チタン(IV)基板にヒドロキシアパタイトを熱プラズマで溶射した層の付着性
- フィルタ・限流器に向けたPLD法,フッ素フリーMOD法によるREBa2Cu3O7-δ超電導薄膜 (特集 超電導材料)
- 特集「地球環境と表面処理技術」の企画に当たって
- 19aWG-12 Aサイト秩序型ペロブスカイトMn酸化物薄膜の製膜手法と結晶構造(19aWG Mn系2,領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
- ペロブスカイトマンガン酸化物を用いた非冷却赤外センサの開発 (特集 安全・安心のためのセラミックセンサ(2)物理センサ)
- 20pPSA-13 パルスレーザー照射を用いた化学溶液法による新規製膜プロセス : ペロブスカイトMn酸化物薄膜のエピタキシャル・多結晶成長(20pPSA 領域8ポスターセッション(低温:Mn酸化物,V酸化物,鉄オキシニクタイドなど),領域8(強相関系:高温超伝導,強相関f電子系など))
- 24pTD-2 ELAMOD法におけるペロブスカイト型酸化物薄膜のエピタキシャル成長(結晶成長,領域9,表面・界面,結晶成長)
- レーザ照射を併用したMOD法による高Jc-YBCO膜の作製 : 2. 構造と特性
- エキシマレーザー照射によるセラミックス酸化物膜の低温結晶化とパターニング
- 新技術・新材料 エキシマレーザー照射によるセラミックス酸化物膜の低温結晶化とパターニング
- 温度センサ : 接触式と非接触式
- レーザCVD法と塗布光分解法による成膜プロセス(成膜プロセスの新しい展開)
- レーザー化学プロセシングによる機能膜の作製-レーザーCVD法及び塗布光分解法-
- ペロブスカイトマンガン酸化物を用いた非冷却赤外センサの開発
- レーザーアブレーション
- モリブデン膜及びタンタル酸化物膜のレ-ザ-CVD法による作製
- 二つの熱電変換相が直列及び並列に配置された場合の電位及び温度分布
- 3E39 Ta(OCH_3)_5 の KrF レーザー光分解によるタンタル酸化物膜の作製 (2)
- レ-ザ-による耐食性膜の作製 (セラミックスへのレ-ザ-利用)
- 2E44 三酸化モリブデン膜の形態と触媒特性
- 1I24 Si-B 系熱電材料の合成法と特性
- 2H02 CVD 法により合成された Si-B 膜の熱電特性
- 2A01 シランとジボランを用いた CVD 法による Si-B 系化合物の合成
- 1I22 シランとフェロセンを用いた CVD 法による Fe-Si 系化合物の合成
- 水からの水素製造技術に関する材料問題--特に熱化学法について
- 多元系シリサイドの新展開 : 半導体BaSi_2を例に
- フルオロトリエトキシシランを用いたCVDによる酸化ケイ素薄膜の合成
- 塗布光照射法を用いた金属酸化物膜の有機基板上への作製 (特集 グリーンイノベーションを支える産総研の電子セラミックス研究)
- エネルギー技術における化学的プロセスに関する研究
- タングステン酸塩の水素還元によるナトリウムタングステンブロンズ (立方晶) の合成
- 非平衡状態にある合金のいくつかの熱力学的関係-1-物理反応が進行しているときのGibbs-Duhem式〔英文〕
- ニッケル亜鉛合金の電解析出に関する研究-5-ニッケル-亜鉛合金電析における界面インピ-ダンス
- 硫酸銅,硫酸ニッケルおよび硫酸亜鉛の含水結晶とその希釈溶液の溶解熱ならびに吸収スペクトルについて
- ニッケル-亜鉛合金の電解析出と電着合金の熱力学的評価〔ニッケル-亜鉛合金の電解析出に関する研究-4-〕
- 硫酸ニッケルと硫酸亜鉛の混合含水結晶および混合水溶液の吸収スペクトル,溶解熱および脱水について〔ニッケル亜鉛合金の電解析出に関する研究-3-〕
- 定電流法および定電位法による硫酸浴からのニッケル-亜鉛合金の電析〔ニッケル-亜鉛合金の電解析出に関する研究-2-〕
- プラズマCVD法によるモリブデン薄膜の生成
- Ti基板のプラズマCVD法によるMo-Siコ-ティングとその高温酸化
- 金属-イオン-水系の電位-pH図の計算機作図アルゴリズムと,ヨウ素-ヨウ化物溶液中での腐食への応用〔英文〕
- 局部腐食モニタリング法の研究-1-直線分極法腐食モニタリングでの分極電流分布とその分極抵抗値への影響〔英文〕
- GP-IB付計測器のシステム化について(資料)
- マグネシウム-ヨウ素系熱化学水素製造法の中間操作段及び輸送過程に対する金属材料の耐食性と耐***-ジョン・コロ-ジョン性
- ヨウ素,酸素,水素,ヨウ化水素及び水蒸気からなるガス雰囲気中での腐食のGurry図による熱力学的考察〔英文〕
- ヨウ素,ヨウ化水素及び水を含む高温ガス(第3,4段反応環境)に対する金属材料の耐食性
- フィルタ・限流器に向けたPLD法, フッ素フリーMOD法によるREBa_2Cu_3O_超電導薄膜
- 塗布熱分解法による超伝導膜の合成
- Siクラスレート化合物
- マグネシウム-ヨウ素系熱化学水素製造法の装置材料の耐食性及びプラズマCVD法による耐食性コ-ティング
- 熱化学法水素製造技術と材料問題