温度均一化を目的とする傾斜温度制御法の効果分析
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概要
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Dynamic uniform temperature on thermal conduction surface is widely required in many applications. In our previous work, the Gradient Temperature Control (GTC) method for the uniform heating has been proposed, and the effectiveness of the control system was clarified. The main idea of GTC is to control the average and gradient temperatures on the surface in order to suppress the thermal interference of the heater. The temperature on the heating plate is made uniform not only in steady state but also in transient state. As a result, uniform thermal process and short process time until uniform heating are realized. In order to confirm the effectiveness of the GTC, experimental results for a realistic application are shown and evaluated.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2004-08-01
著者
-
松永 信智
熊本大学大学院自然科学研究科
-
川路 茂保
熊本大学大学院自然科学研究科
-
川路 茂保
熊本大学自然科学研究科
-
川路 茂保
熊本大学大学院
-
南野 郁夫
オムロン株式会社
-
松永 信智
熊本大学工学部情報電気電子工学科
-
田中 政仁
オムロン株式会社
-
南野 郁夫
オムロン株式会社 アナログコントローラ事業部商品開発部
-
南野 郁夫
オムロン株式会社 京都研究所
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