イオンビーム誘起CVDによる有機ケイ素を用いたアモルファス炭化ケイ素薄膜の作製
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概要
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- 2001-12-01
著者
-
木内 正人
産業技術総合研究所環境化学技術研究部門
-
松谷 貴臣
産業技術総合研究所
-
浅沼 達哉
産業技術総合研究所
-
劉 昌
産業技術総合研究所
-
竹内 孝江
奈良女子大学
-
木内 正人
産業技術総合研
-
竹内 孝江
産業技術総合研究所
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