極低エネルギーイオンビーム技術と材料開発への応用
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概要
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Low-energy ion beam technology is very interesting for material researchers. The advantages of this technology are the controllability of both the ion species and the energy of impinging ions, and the process in an ultra-high vacuum. However, the quality of the ion beam must be well considered during the designing process. Organometallic ion beam deposition which is a newly developed attractive technique for compound research is also described.
- 2003-07-25
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