異種半導体基板の直接接着と光デバイスへの応用
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概要
著者
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和田 浩
沖電気工業株式会社オプティカルコンポーネントカンパニー
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和田 浩
沖電気工業(株)
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和田 浩
沖電気工業
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上條 健
沖電気工業株式会社研究開発本部
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上條 健
新情報処理開発機構光インタコネクション沖研究室
-
上條 健
沖電気工業 半導体技研
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