YAGレーザ照射と化学エッチングを併用したサファイヤ基板の細溝加工
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概要
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- 1998-03-05
著者
-
堀澤 秀之
東海大工
-
安永 暢男
東海大学
-
堀澤 秀之
東海大学工学部航空宇宙学科
-
安永 暢男
東海大学工学部精密工学科
-
木村 重夫
(株)山武
-
松本 力
東海大学
-
秋元 典利
東海大学
-
木村 重夫
山武ハネウェル(株)
-
木村 重夫
山武
-
堀澤 秀之
東海大学工学部
-
堀澤 秀之
東海大学
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