超短パルスレーザによるサファイヤの表面加工特性
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2002-10-01
著者
-
堀澤 秀之
東海大工
-
安永 暢男
東海大学
-
堀澤 秀之
東海大・工
-
安永 暢男
東海大・工
-
田村 深
東海大・院
-
松岡 史哲
原研・関西研
-
松岡 史哲
日本原子力研究所 関西研究所 光量子科学研究センター
-
堀澤 秀之
東海大学工学部
関連論文
- 21aBH-1 スペース重力波アンテナDECIGO計画(24) : 設計・計画(21aBH 重力波,宇宙線・宇宙物理領域)
- 10aSE-4 スペース重力波アンテナDECIGO計画(20) : 設計・計画(重力波,宇宙線・宇宙物理領域)
- 30pSC-1 スペース重力波アンテナDECIGO計画(17) : 設計・計画(30pSC 重力波,宇宙線・宇宙物理領域)
- 23aSF-1 スペース重力波アンテナDECIGO計画 XV : 設計・計画・パスファインダー(23aSF 重力波,宇宙線・宇宙物理領域)
- 25pZW-6 スペース重力波アンテナDECIGO計画XIII : 設計・計画・パスファインダー(重力波(招待講演),宇宙線・宇宙物理領域)
- 21aZH-1 スペース重力波アンテナDECIGO計画X(設計・計画)(21aZH 重力波,宇宙線・宇宙物理領域)
- 21aZH-2 スペース重力波アンテナDECIGO計画XII(パスファインダー)(21aZH 重力波,宇宙線・宇宙物理領域)
- 28aSG-1 スペース重力波アンテナDECIGO計画VII : 設計・計画(28aSG 重力波,宇宙線・宇宙物理領域)
- 28aSG-3 スペース重力波アンテナDECIGO計画IX : パスファインダー(28aSG 重力波,宇宙線・宇宙物理領域)
- ダイヤモンドの高速摺動研磨法の研究 第2報 : ダイヤモンド焼結体(PCD)の研磨への適用
- ダイヤモンドの高速摺動研磨における研磨条件の検討
- ダイヤモンドの高速摺動研磨における諸現象
- ダイヤモンドの高速摺動研磨法の研究 : 第1報 : 単結晶ダイヤモンドの研磨への適用
- 高速摺動研磨法によるダイヤモンドの研磨特性
- ダイヤモンドの高速摺動研磨 -加工点の温度と解析-
- 超音波モータ用ステータを利用した砥石の研究 -第2報 : 定切込み研削特性-
- レーザにより燃焼制御および可変推力を実現する宇宙用固体推進機の検討
- フェムト秒レーザによる高機能材料の穴あけ加工
- BI-1-7 レーザー干渉計型宇宙重力波アンテナ : DECIGO計画(BI-1.宇宙へ応用されるレーザ技術,ソサイエティ企画)
- Nd:YAGレーザ第5高調波によるDCマイクロアークジェット・ノズルの微細加工(2005年度 学部等研究教育補助金採択者報告)
- 3331 レーザアシスト・小型プラズマ推進器の基礎研究
- 2635 Nd:YAGレーザ第5高調波によるサファイアの表面加工に関する基礎研究(S75-2 先端材料とレーザー加工(2),S75 先端材料とレーザー加工)
- レーザ・電気複合加速推進機の静電加速モードにおける推進特性
- 固定砥粒研磨加工方式の動向
- 次世代固定砥粒加工プロセス専門委員会
- 近代研磨技術発展の経緯
- 2721 ECRイオンスパッタ法を用いたTiNi形状記憶合金薄膜創製技術の開発(S33-3 材料の超精密加工とマイクロ/ナノ加工の動向(3),S33 材料の超精密加工とマイクロ/ナノ加工の動向)
- 2611 SiCウェハの高温メカノケミカルポリシング(S74-1 砥粒加工(1),S74 砥粒加工)
- 研磨用砥石の開発動向と課題 (特別企画 超平坦・超平滑加工実現へのブレークスルーは何か?)
- 総論 高機能性砥石の開発動向と課題 (特集2 開発すすむ高機能砥石とその使い方)
- フェムト秒レーザによる微細加工
- 雲母(マイカ)砥粒によるシリコンウェハポリシングの試み
- 雑考-業績評価の基準
- 407 シリコンウェハ MCP 用砥粒の加工特性比較
- 超短パルスレーザによるサファイヤの表面加工特性
- 最近の超精密ラッピング・ポリシングの研究動向
- YAGレーザ第5高調波によるサファイヤの微細加工
- 研削・研磨連続加工法によるシリコンウエハ薄片化の試み
- 13pSH-1 スペース重力波アンテナDECIGO計画(27) : 設計・計画(13pSH 重力波,宇宙線・宇宙物理領域)
- 部分電極付き研磨パッドによる電気泳動研磨
- Ba (NO_3)_2およびCaCO_3結晶の後方誘導ラマン散乱によるパルス圧縮/増幅特性
- Ba(NO3)2およびCaCO3の後方誘導ラマン散乱によるパルス圧縮/増幅特性 (「中赤外自由電子レーザーが拓く応用研究」特集号)
- 超音波振動ホーンによる研磨パッドのコンディショニング洗浄
- リング型位相共役鏡を用いた高出力Nd:YAGレーザー
- フォトリフラクティブ位相共役鏡を用いた高ビーム品質固体レーザー
- ダイヤモンドホイールのクリーニング技術の研究 -ガラスビーズの充填率の影響について-
- 薄刃電着カップ砥石の研削特性
- 隔壁付きセル型メガヘルツ振動洗浄装置の開発
- コロナ放電による炭化水素火炎のすす抑制機構に関する研究
- 微小電力マイクロアークジェット推進機
- レーザアシストパルスプラズマ推進機の作動特性に関する基礎研究
- 微小電力マイクロアークジェット推進機 (特集 マイクロ推進機)
- 微小電力アークジェットの作動特性
- コロナ放電による炭化水素乱流拡散火炎のすす抑制に関する研究(熱工学,内燃機関,動力など)
- 拡散火炎すす生成過程に及ぼすコロナ放電の影響
- プラズマジェットの着火・保炎機構に関する研究
- フレームトーチ・イグナイタの性能向上に関する研究
- ダイヤモンドの高速摺動研磨 : 第2報 (高能率砥粒レス研磨の条件)
- 高速摺動円盤によるダイヤモンド砥石のツルーイングの試み
- レーザ切断におけるカーフ内気流の観察
- レーザ厚板切断におけるカーフ内流れの観察
- 高速摺動研磨法によるPCD研磨の試み
- 高速摺動研磨法によるダイヤモンドの砥粒レス研磨の条件
- 円筒型マルチパスセルを用いた簡易型NO_2計測装置の研究
- 吸収剤塗布によるレーザー焼入れの特性
- 部分電極工具による電気泳動研磨の試み
- レーザ切断加工におけるプラズマ発光挙動の観察
- メカノケミカル研磨 (特集 超精密研磨加工はどこまで進んだか) -- (各種研磨法の開発成果)
- BaCO_3ラッピングテープによるSiウェハのポリシング
- 短パルスYAGレーザ高調波による高機能材料の微細加工
- 高速度カメラによるレーザ切断加工の観察
- ポリシングパッドの瞬間粘弾性測定技術
- レーザー切断加工におけるカーフ内気流の数値流体解析
- レーザ切断加工におけるカーフ内アシストガス気流のCFD解析
- 湿式集塵機の性能向上に関する研究
- 超音波モータ用ステータを利用した砥石の研究 -第1報 : 低圧研削特性-
- 超音波振動ホーンによるCMP用研磨パッドのコンディショニング -その2
- YAGレーザ照射と化学エッチングを併用したサファイヤ基板の細溝加工
- 加工学・加工機器 : 機械工学年鑑(2000年)
- パルスレーザ照射時に発生するプラズマを利用した穴あけ加工の基礎実験
- ビームガイドを用いたレーザアシストエッチングによるアルミナの高精度加工
- CHF_3雰囲気でのトライボケミカル反応を利用したメカノケミカルポリッシング
- 28aGS-1 スペース重力波アンテナDECIGO計画(30) : 設計・計画(28aGS 重力波(DECIGOなど),宇宙線・宇宙物理領域)
- 次世代固定砥粒加工プロセス専門委員会
- 研削・研磨連続加工方式の開発 -加工装置の試作と基本特性-
- ビームガイドを用いたアルミナのレーザ援用加工
- 超音波楕円振動研削の研究 : 第2報 : 定圧研削特性
- CO_2レーザを用いたシリコンポールの作製
- 超音波振動ホーンによるCMP用ダイヤモンドドレッサーの目づまり解消
- アルミナ長繊維を切刃とする砥石によるCMP用研磨パッドコンディショニングの試み
- 総論 固定砥粒研磨加工技術実用化への条件と課題 (特集 高付加価値を生み出す固定砥粒研磨技術)
- サファイヤ基板の研削・研磨連続加工の試み
- 磁気セイルの推力特性に関する実験研究
- 小型レーザープラズマ推進機
- 24pGJ-6 スペース重力波アンテナDECIGO計画(36) : DECIGO/DPF(24pGJ 重力波(DECIGOなど),宇宙線・宇宙物理領域)
- エネルギービーム加工技術およびその加工機の新潮流(精密工学の温故知新と新たな潮流)
- F125 LIF法による炭化水素火炎放電印加時のPAH計測(OS-9:燃焼の最近の進展(3))