CHF_3雰囲気でのトライボケミカル反応を利用したメカノケミカルポリッシング

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概要

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• 1999-03-05

著者

• 安永 暢男

  東海大・工

• 安永 暢男

  東海大学工学部精密工学科

• 大窪 克之

  (株)リコー

• 平塚 健一

  千葉工大・工

• 平塚 健一

  千葉工大 工

• 平塚 健一

  千葉工大

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