BaCO_3ラッピングテープによるSiウェハのポリシング
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概要
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- 1997-10-01
著者
-
鈴木 清
日本工業大学
-
北嶋 弘一
関西大学工学部
-
安永 暢男
東海大学
-
安永 暢男
東海大学工学部精密工学科
-
北嶋 弘一
関西大学
-
鳥取 高明
レフライト
-
鳥取 高明
日本レフライト工業
-
仲井 正徳
大阪ダイヤモンド工業(株)
-
仲井 正徳
関西大学大学院工学研究科
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