Nd:YAGレーザ第5高調波によるDCマイクロアークジェット・ノズルの微細加工(2005年度 学部等研究教育補助金採択者報告)
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概要
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The microfabrication of a microarcjet by the fifth-harmonic generation of Nd:YAG pulses (wavelength 213nm) was performed and its plasma acceleration characteristics were investigated. The microarcjet, with a rectangular exit of 0.5mm in height, was machined in a 1.0-mm-thick quartz plate. For the electrodes, Au films were coated on a divergent part of the nozzle for the anode and on an inner wall surface for the cathode. In addition, the microfabrication of 3×3 rectangular micro nozzle arrays, each with an exit height of 0.5mm, using an ultraviolet laser was conducted. Relatively fine structures and smooth surfaces were obtained with a surface roughness of about 200nm.
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