シリコンV溝加工基板を用いた光モジュールの試作

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概要

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• 1997-03-01

著者

• 加藤 猛

  (株)日立製作所中央研究所

• 福田 和之

  (株)日立製作所機械研究所

• 加藤 猛

  (株)日立製作所 中央研究所

• 石川 忠明

  (株)日立製作所機械研究所

• 嶋岡 誠

  (株)日立製作所機械研究所

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