Co-Cr垂直膜成膜時の背圧改善効果
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概要
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- 1996-09-01
著者
-
中村 慶久
東北大学 通研 大学院情科研
-
村岡 裕明
東北大学 電気通信研究所
-
中塩 栄治
ソニー(株)
-
坂口 武
東北大学 電気通信研究所
-
中塩 栄治
東北大学電気通信研究所
-
中塩 栄治
東北大学 電気通信研究所
-
渡辺 功
東北大学 電気通信研究所
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