垂直磁気記録媒体作成用アルミニウムチャンバーの検討
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概要
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我々はこれまで軟磁性裏打ち層を含めた低ノイズ垂直二層膜媒体の研究を進めてきた。ここでは垂直磁気記録方式の実用化に向けて、媒体の高速作成、特に裏打ち層の高速成膜を目標とした。垂直二層膜媒体作成用スパツタ装置のチャンバーにアルミニウムを採用し、現在研究中のPEターゲットを使って、軟磁性膜(Ni-Fe-Nb)の成膜を行なった。その結果、排気特性は大幅に向上しただけでなく、高堆積速度で成膜を行なった場合でも、磁気特性、結晶性の良好な軟磁性膜の成膜が可能になった。実際にハードディスク媒体を作成し、AFMでモホロジーの観察を行なったところ、非常に表面性が優れているのに加えて記録密度特性も良好であることが分かった。
- 1995-06-16
著者
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