清家 善之 | 旭サナック(株)
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概要
関連著者
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清家 善之
旭サナック(株)
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清家 善之
旭サナック
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旭サナック(株)
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旭サナック (株)
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土肥 俊郎
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土肥 俊郎
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九州大学大学院工学研究院
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九州大学大学院
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フィリポシアン アラ
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旭サナック
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旭サナック(株)
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土肥 俊郎
埼玉大学 教育学部
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土肥 俊郎
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九大
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明永 裕樹
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土肥 俊郎
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泉川 晋一
九州大学大学院工学研究院
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赤間 太郎
九州大学大学院工学研究院
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小林 義典
旭サナック (株)
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清家 善之
旭サナック (株)
著作論文
- 高圧マイクロジェット(HPMJ)を用いたCMPパッドコンディショニング法の開発 : 酸化膜ILDの連続CMPにおける研磨特性とパッド表面状態の評価
- 高圧マイクロジェットの洗浄力に関する研究 : 粒子挙動解析と洗浄実験による考察
- 超高圧マイクロジェットによる半導体CMPパッドの洗浄・コンディショニング技術
- 高圧マイクロジェット(HPMJ)を用いたCMPパッドコンディショニングに関する研究 : 蛍光スラリーを利用したパッド溝内のスラリー残渣の洗浄性確認
- 高圧マイクロジェットを用いたCMPパッドコンディショニング技術
- 新しい高圧マイクロジェット洗浄技術の提案とその装置化 : ポリッシングパッドのコンディショニングへの適用
- 高圧マイクロジェットの洗浄力に関する研究 : —ノズル形状の違いが洗浄力に与える影響—
- スプレー式洗浄の粒子解析と洗浄力に関する考察 : ―二流体スプレーと高圧マイクロジェットの洗浄力比較―
- 超高圧マイクロジェットによる精密洗浄システムとオプトエレクトロニクス部品プロセスへの適用 (特集 最近のオプトメカトロニクス用材料の加工・洗浄技術を追う)
- 超高圧マイクロジェット精密洗浄装置「HPMJシリーズ」 (液晶ディスプレイ技術2002年) -- (液晶ディスプレイ製造技術編)
- [新技術開発レポート1] 超高圧マイクロジェット洗浄法の開発
- 超高圧マイクロジェットを用いたパッドドレッシングに関する研究
- 新しい超高圧ジェットを用いたパッドドレッシング技術
- CMPにおける高圧マイクロジェットによる不織布系パッドの非破壊コンディショニング
- シリコンウェハ製造に用いられる高圧マイクロジェット洗浄技術
- 接液部非金属化を実現した高圧マイクロジェット精密洗浄装置の開発