フィリポシアン アラ | Department of Chemical and Environmental Engineering, The University of Arizona

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概要

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• 同名の論文著者
• Department of Chemical and Environmental Engineering, The University of Arizonaの論文著者

関連著者

• 土肥 俊郎

  九州大学

• 土肥 俊郎

  埼玉大学教育学部

• フィリポシアン アラ

  Department of Chemical and Environmental Engineering, The University of Arizona

• フィリポシアン アラ

  Department Of Chemical And Environmental Engineering The University Of Arizona

• 宮地 計二

  旭サナック(株)

• 清家 善之

  旭サナック(株)

• 清家 善之

  旭サナック

• 宮地 計二

  旭サナック (株)

• 李 考相

  Department of Chemical and Environmental Engineering, The University of Arizona

• 李 考相

  Department Of Chemical And Environmental Engineering The University Of Arizona

• 土肥 俊郎

  埼玉大教育学部

• 川島 早由里

  旭サナック(株)

• 市川 浩一郎

  不二越機械工業(株)

• フィリポシアン アラ

  Chemical & Environmental Engineering Department, The University of Arizona

• フィリポシアン アラ

  The University of Arizona, Chemical & Environment Engineering Dep.

• 土肥 俊郎

  九州大学大学院

• 川島 早由里

  旭サナック (株)

• 市川 浩一郎

  不二越機械工業株

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著作論文

• 高圧マイクロジェット(HPMJ)を用いたCMPパッドコンディショニング法の開発 : 酸化膜ILDの連続CMPにおける研磨特性とパッド表面状態の評価
• 高圧マイクロジェット(HPMJ)を用いたCMPパッドコンディショニングに関する研究 : 蛍光スラリーを利用したパッド溝内のスラリー残渣の洗浄性確認
• 新しい高圧マイクロジェット洗浄技術の提案とその装置化 : ポリッシングパッドのコンディショニングへの適用
• 加工雰囲気を制御したベルジャー型ポリシング(CAP)装置とそのCMP特性
• プラナリゼーション CMP とアメリカにおけるその最新動向

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