松野 博光 | ウシオ電機
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概要
関連著者
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松野 博光
ウシオ電機
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五十嵐 龍志
ギガフォトン(株)
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松野 博光
ウシオ電機株式会社
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五十嵐 龍志
ウシオ電機(株)
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五十嵐 龍志
ウシオ電気
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五十嵐 龍志
ウシオ電機株式会社技術研究所
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五十嵐 龍志
ウシオ電機技術研
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竹添 法隆
ウシオ電機(株)
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佐々木 亘
株式会社NTP
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黒澤 宏
宮崎大学
著作論文
- ヘッドオン型Ar_2^*, Kr_2^*エキシマ光照射装置の特性
- 39. バースト駆動型Kr_2エキシマ光照射装置((2)光源・回路・放電現象〔II〕(HIDランプ関係)
- 150. Kr_2^*エキシマ光の窒素による吸収特性
- 44.誘電体バリア放電を利用したヘッドオン型Ar_2^*、Kr_2^*エキシマランプの特性((2)光源・回路・放電現象[II] : HIDランプ及びその他)
- エキシマランプを用いた酸化物薄膜の作成
- 真空紫外エキシマランプを用いたポリマーのフォトエッチング
- 誘電体バリア放電エキシマランプを用いた薄膜形成
- 154. Xe_2^*エキシマランプによるUV/O_3洗浄
- 149. Xe_2^*エキシマランプの172nm放射の測定
- エキシマランプを用いた非線形光学結晶のエッチング