4.エキシマランプ(<小特集>光源としてのプラズマ : 基礎と最近の研究から)
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概要
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As a high-power incoherent UV and VUV light source, excimer lamps are reviewed. The Excimer lamps could be pumped by a electrodeless microwave discharge and a dielectric barrier discharge. Rare gas excimer and rare-gas halide excimer lamps can efficiently generate UV and VUV photons as a spontaneous emission.
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 1996-04-25
著者
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