横谷 篤至 | 宮崎大学 工学部 電気電子工学科
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概要
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横谷 篤至
宮崎大学 工学部 電気電子工学科
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- 真空紫外光によるSiウェハーの室温プロセス
- 高強度真空紫外アルゴンエキシマレーザーの開発
- 紫外光レーザーを用いた光ファイバーセンサー作製技術の開発
- 無声放電励起真空紫外希ガスエキシマランプによる有機物質の超微細加工
- シリコン清浄表面上におけるTEOS分子の光分解過程の観察
- 真空紫外エキシマランプ光CVDによるシリカ薄膜常圧形成技術の開発
- 全固体近紫外レーザーよるファイバブラッググレーティング作製技術の開発
- 「食品分野への光応用」特集号によせて
- レーザー生成プラズマ極端紫外光源の開発と表面分析への応用