米田 知晃 | (株)イオン工学研究所
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概要
関連著者
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梶山 健二
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米田 知晃
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松下電器産業(株)中央研究所
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渡辺 正則
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(株)イオン工学研究所
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原 徹
法政大学電気工学科
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出口 正洋
松下電器産業株式会社
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山本 安一
立命館大
著作論文
- 水素イオン注入によるSi及びSiC薄膜のデラミネーション
- 5a-YC-4 単結晶Si中を軸及び面チャネリングするMeVHeイオンに対する阻止能
- イオン照射による6H-SiC(0001)Siの増速熱酸化膜(関西支部研究例会の講演要旨(平成9年度第2回))
- 注入水素を用いた脆化によるシリコン単結晶の薄膜形成