井上 森雄 | (株)イオン工学研究所
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概要
関連著者
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井上 森雄
(株)イオン工学研究所
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井上 森雄
イオン工学研究所
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(株)イオン工学研究所
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原 徹
法政大学電気工学科
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出口 正洋
松下電器産業株式会社
著作論文
- 水素イオン注入によるSi及びSiC薄膜のデラミネーション
- イオン工学技術による新材料開発
- イオン照射による6H-SiC(0001)Siの増速熱酸化膜(関西支部研究例会の講演要旨(平成9年度第2回))
- 注入水素を用いた脆化によるシリコン単結晶の薄膜形成
- 期待される SiC 半導体