原 徹 | 法政大学

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概要

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• 原 徹

  法政大学

• 原 徹

  法政大学工学部

• 土肥 俊郎

  埼玉大学教育学部

• 土肥 俊郎

  埼玉大学 教育学部

• 木下 将毅

  埼玉大学

• 河西 敏雄

  埼玉大学

• 酒井 謙児

  (株)東京精密

• 関根 幸平

  イオン工学研究所

• 関根 幸平

  (株)イオン工学研究所

• 柿崎 恵男

  法政大学

• 大島 創太郎

  法政大学

• 梶山 健二

  イオン工学研究所

• 米田 智晃

  イオン工学研究所

• 井上 森雄

  イオン工学研究所

• KITAMURA Taira

  Electrical Engineering, Hosei University

• 関根 幸平

  イオン工学研

• 梶山 健二

  (株)イオン工学研究所

• Kitamura Taira

  Electrical Engineering Hosei University

• 田中 新吾

  法政大学

• 米田 知晃

  (株)イオン工学研究所

• 田村 文男

  法政大学

• 木下 圭

  住エレ・エスイーゼット(株)

• 佐藤 啓介

  住エレ・エスイーゼット(株)

• 神月 靖

  住エレ・エスイーゼット(株)

• 井上 森雄

  (株)イオン工学研究所

• 柳田 育香

  埼玉大学

• 神月 靖

  住エレ・エスイーゼット

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著作論文

• 水素イオン注入によるSi及びSiC薄膜のデラミネーション
• シリコン裏面研磨ダメージによるシリコンウエハ表面の少数キャリアライフタイムの低下
• 低誘電率SOG膜のプラナリゼーションポリシング/CMPの検討

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