シリコン裏面研磨ダメージによるシリコンウエハ表面の少数キャリアライフタイムの低下

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概要

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• 1996-12-05

著者

• 原 徹

  法政大学

• 原 徹

  法政大学工学部

• 田中 新吾

  法政大学

• 田村 文男

  法政大学

• 木下 圭

  住エレ・エスイーゼット(株)

• 佐藤 啓介

  住エレ・エスイーゼット(株)

• 神月 靖

  住エレ・エスイーゼット(株)

• 神月 靖

  住エレ・エスイーゼット

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