鈴木 真一郎 | 信州大学工学部
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概要
関連著者
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鈴木 真一郎
信州大学工学部
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林部 林平
信州大学工学部
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上村 喜一
信州大学工学部
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山上 朋彦
信州大学工学部
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村田 裕亮
信州大学工学部
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上村 喜一
信州大学工学部電気電子工学科
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山上 朋彦
信州大学工学部電気電子工学科
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林部 林平
信州大学工学部電気電子工学科
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逸見 充則
信州大学工学部
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小林 尚平
信州大学工学部
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仙石 昌
信州大学工学部
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辻 拓真
信州大学工学部
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酒井 崇史
信州大学工学部
著作論文
- 直接窒化法で形成したSiC表面窒化層の厚さと界面特性の評価(薄膜プロセス・材料,一般)
- MIS型ショットキー接触の電流電圧特性を利用した窒化膜/SiC界面特性の評価(薄膜プロセス・材料,一般)
- C-6-14 TEOSを用いた熱CVDによるSiC-MOS構造の界面評価(C-6.電子部品・材料,一般セッション)
- 直接窒化膜を界面制御層に用いたSiCMIS構造の作製
- C-6-9 直接窒化法を用いたSiCMIS構造の界面特性(C-6.電子部品・材料,一般セッション)
- SiC表面の直接窒化と窒化層/SiC界面特性の評価