仙石 昌 | 信州大学工学部
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概要
関連著者
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林部 林平
信州大学工学部
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上村 喜一
信州大学工学部
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山上 朋彦
信州大学工学部
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仙石 昌
信州大学工学部
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上村 喜一
信州大学工学部電気電子工学科
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山上 朋彦
信州大学工学部電気電子工学科
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林部 林平
信州大学工学部電気電子工学科
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鈴木 真一郎
信州大学工学部
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村田 裕亮
信州大学工学部
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逸見 充則
信州大学工学部
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辻 拓真
信州大学工学部
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陳 晨
信州大学工学部
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阿部 克也
信州大学工学部
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萩原 正宜
信州大学工学部電気電子工学科
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石田 芳樹
信州大学工学部電気電子工学科
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塩沢 宏章
信州大学工学部電気電子工学科
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石田 芳樹
信州大学工学部
著作論文
- C-6-14 TEOSを用いた熱CVDによるSiC-MOS構造の界面評価(C-6.電子部品・材料,一般セッション)
- 直接窒化膜を界面制御層に用いたSiCMIS構造の作製
- C-6-3 直接窒化法で作製したSiCMISショットキー接触の評価(C-6. 電子部品・材料,一般セッション)
- バイアス印加RFプラズマ窒化法によるSiC-MIS構造の作製(薄膜プロセス・材料,一般)