菊田 邦子 | NEC ULSIデバイス開発研究所

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概要

• 同名の論文著者
• NEC ULSIデバイス開発研究所の論文著者

関連著者

• 菊田 邦子

  NEC ULSIデバイス開発研究所

• 菊田 邦子

  Nec Ulsi デバイス開発研究所

• 吉川 公麿

  NEC ULSIデバイス開発研究所

• 菊田 邦子

  NECエレクトロニクス株式会社先端デバイス開発事業部

• 大音 光市

  NECエレクトロンデバイス先端デバイス開発本部

• 大音 光市

  Necエレクトロニクス株式会社先端プロセス技術事業部

• 伊藤 信和

  Nec Ulsiデバイス開発研究所

• 吉川 公麿

  広島大学:産業総合研究所

• 恒成 欣嗣

  日本電気株式会社

• 吉川 公磨

  ULSIデバイス開発研究所

• 山田 義明

  Nec Ulsiデバイス開発研究所

• 上野 和良

  Nec・ulsiデバイス開発研究所

• 上野 和良

  Necエレクトロニクス(株)

• 隣 真一

  Nec Ulsiデバイス開研

• 大音 光市

  NEC ULSIデバイス開発研究所

• 藤井 邦宏

  NEC ULSIデバイス開発研究所

• 藤井 邦宏

  Necエレクトロニクス株式会社プロセス技術部

• 霍 大成

  AT&Tベル研究所

• 霍 大成

  At&tベル研究所

• 恒成 欣嗣

  NEC

• 吉川 公磨

  NEC

• 隣 真一

  Nec Ulsiデバイス開発研究所

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著作論文

• 高温スパッタを用いたサブクォーターマイクロンのチタンサリサイド形成技術
• Alリフローによるコンタクト埋込特性に与えるコンタクト形状およびリフロー下地膜の影響
• セルフアラインプラグを有する0.25μm埋め込み配線

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