田中 均 | (株)富士通研究所
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概要
関連著者
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田中 均
富士通研究所
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田中 均
(株)富士通研究所
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今西 健治
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吉川 俊英
(株)富士通研究所
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富士通カンタムデバイス株式会社
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山本 達
(株)富士通研究所
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福澤 香苗
(株)富士通研究所化合物lsi研究部
著作論文
- ED2000-92 MOCVD成長GaAs/InGaPヘテロ構造における界面の制御
- 水素ラジカル処理によるデバイス界面の制御
- GaSによるGaAs表面パッシベーションとその応用
- MOVPE成長V族切換界面(InGaP/(In) GaAs)の特性制御
- MOVPE成長InGaP/GaAsヘテロ界面の評価