糸賀 敏彦 | (株)日立製作所 中央研究所
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概要
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糸賀 敏彦
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著作論文
- Gate-Overlapped LDD構造による低温Poly-Si TFTの高信頼化技術
- 基板/酸化膜および酸化膜/ゲート界面の微細構造制御による酸化膜信頼性の向上
- 一括加工による強誘電体キャパシタの形成とその特性
- 基板/酸化膜および酸化膜/ゲート界面の微細構造制御による酸化膜信頼性の向上