シリコンウェハー薄膜界面領域の断面走査トンネル顕微観察を目指したへき開手法の開発 (特集 ナノ界面の世界と次世代機能)

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概要

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著者

• 大門 寛

  奈良先端科学技術大学院大学

• 大門 寛

  奈良先端大

• 服部 賢

  奈良先端大物質

• 立花 和也

  奈良先端大・物質創成

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