Nイオン注入4H-SiCの電気特性と結晶性の評価

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概要

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• 法政大学イオンビーム工学研究所の論文

著者

• 工藤 尚宏

  法政大学

• 佐藤 政孝

  法政大学 マイクロ・ナノテクノロジー研究センター

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