積層用両面駆動型静電フィルムアクチュエータを用いた薄型直動テーブルと小型駆動装置の開発

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概要

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• 岐阜県生産情報技術研究所の論文

著者

• 山本 晃生

  東京大学大学院工学系研究科

• 山本 晃生

  東京大学 大学院工学系研究科 精密機械工学専攻

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