モノシランのグロ-放電分解によるa-Si:Hの成長表面への可視光の照射効果

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概要

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• 電子技術総合研究所の論文

著者

• 林 豊

  ソニー

• 坂田 功

  産総研

• 山中 光之

  産総研

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